Ковалев Данила Дмитриевич

Статья посвящена анализу результатов использования процедуры коррекции эффекта оптической близости и верификации для типовых топологических ситуаций, которые возникают при проектировании СБИС и в дальнейшем могут привести к нежелательным изменениям полученного топологического рисунка. Обоснован выбор метода коррекции эффекта оптической близости, основанного на правилах модификации топологического слоя. Приведено описание процедуры верификации и коррекции топологии. Приведено описание типовых искажений топологических рисунков и типовых элементов коррекции. Проведен сравнительный анализ топологического рисунка до и после введения корректирующих элементов на примере конкретных элементов библиотеки стандартных элементов для проектирования быстродействующих спецстойких КНИ СБИС с минимальным топологическим размеров 0,25 мкм и библиотеки в целом. Сравнительный анализ показал резкое снижение количества искажений топологии.