Другие журналы
|
Гончаров Антон Сергеевич
Экспериментальные исследования процесса плазмохимического травления стекла при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов
Инженерное образование # 05, май 2012 DOI: 10.7463/0512.0408094 Рассмотрены возможности изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов (ДОЭ и ГОЭ) с применением установки плазмохимического травления (ПХТ) Caroline 15 PE. Целью работы являлось повышение показателей качества бинарных ДОЭ-ГОЭ, которые определяются главным образом глубиной функционального микрорельефа. Показано, что максимальная глубина рельефа ДОЭ-ГОЭ соответствует максимальной селективности травления стекла относительно материала маски. Установлено, что при толщине хромовой маски 100 нм методом ПХТ достигается глубина микрорельефа до 1,4 мкм, что, в свою очередь позволяет повысить дифракционную эффективность ДОЭ-ГОЭ. В частности, показано, что относительная интенсивность света во втором порядке дифракции может составлять 30%, что позволяет создавать новые изделия микрооптики.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|