Пономарев Юрий Анатольевич

Одной из важнейших характеристик микромеханических гироскопов является величина нулевого сигнала. Исследования показывают [1], что смещение шаблонов на 1 мкм (достижимая точность двухсторонней фотолитографии) приводит к появлению нулевого сигнала соответствующего угловой скорости значительно превышающего диапазон измерения ДУС. Основными источниками этого сигнала являются: несимметрия маятника и технологическая неточность изготовления упругого подвеса ЧЭ. Влияние несимметрии маятника на величину нулевого сигнала можно минимизировать конструктивно-технологическими мерами. В данной работе представлены результаты исследований возможности компенсации дефектов изготовления упругого подвеса, связанных со смещением фотошаблонов травления при двухсторонней фотолитографии используемой при изготовлении подвеса.

Рассмотрены пути развития микроэлектромеханических гироскопов и акселерометров в навигационных приборах ракетных систем залпового огня. Приведены варианты конструкции микроэлектромеханических компенсационных акселерометров, роторных вибрационных гироскопов. Показано, что микроэлектромеханические двухкоординатные датчики угловой скорости имеют некоторые преимущества по сравнению с твердотельными. Конструкции микроэлектромеханических акселерометров и датчиков угловой скорости являются технологичными и легко реализуемыми на практике.