Грешилов Вячеслав Валерьевич

Рассмотрен процесс нанесения покрытия с помощью магнетронной распылительной системы на планетарно вращающиеся цилиндрические объекты. Получена математическая модель движения системы. Определены геометрические параметры влияющие на скорость роста покрытия, а также решена проблема учета перекрытия объектов друг другом. Найдена зависимость скорости роста покрытия от тока разряда. Определено необходимое время напыления покрытия с заданной толщиной и геометрическими параметрами системы.