Рожков Никита Валерьевич

Одной из важнейших проблем разработки и конструирования ёмкостных микродатчиков давления является задача повышения чувствительности датчика. Наиболее распространённым способом решения этой задачи является изменение конструкции чувствительного элемента микродатчика. Для повышения чувствительности микродатчика предлагается сегментация подвижного электрода, т.е. его разбиение на отдельные кольцевые сегменты. Также рассматривается переход от классической конструкции микродатчика к конструкции с сегментированным электродом. В работе приводится методика расчёта ёмкости и чувствительности микродатчика в зависимости от числа сегментов. По данной методике производится расчёт чувствительности микродатчика для разного числа сегментов подвижного электрода.