Дубровин Глеб Николаевич

В данной статье представлен химический способ получения технологического рисунка проводящего 35 мкм медного слоя на фольгированном 100 мкм полиимиде для последующего осаждения на него термоэлектрического материала на основе Bi₂Te₃. Рассматривается процесс подготовки подложки из полиимида для создания необходимой геометрии термоэлектрического модуля для 0,1-1,0 мм техпроцесса. Проведено исследование оптимальных режимов химической обработки, методом импульсного лазерного осаждения экспериментально получены макетные образцы гибких термоэлектрических модулей на подготовленных подложках.