Николаева Анна Сергеевна

С. 62-69

В настоящее время микроэлектромеханические системы (МЭМС) получили широкое распространение. Важнейшим компонентом данных систем является микроактюатор, позволяющий преобразовывать внешнее воздействие в механическое перемещение. Расчет микроактюаторов представляет собой актуальную задачу. Для расчета микроактюатора сложной формы использован метод конечных элементов. Решение выполнено в среде конечно-элементного программного комплекса Abaqus. Результатами расчета являются упругая характеристика микроактюатора и его деформированная форма. Было проведено сравнение результатов расчета для микроактюаторов различных размеров. Предложенная методика расчета показала свою эффективность и может быть рекомендована для анализа широкого круга микроэлектромеханических устройств.