Клюева Виктория Андреевна

Для эффективного конструирования магнетронных распылительных систем необходимо знать закон распределения радиальной составляющей индукции магнитного поля в пространстве над срезом магнитопровода, для определения которого используют различные методы расчета (метод конечных элементов, метод вторичных источников). Существует аналитическая зависимость, позволяющая произвести быстрый оценочный расчет конструкции магнитопровода. Данная зависимость описывает спад магнитного поля за срезом магнитопровода экспоненциальной функцией с поправочными коэффициентами.   В  работе проверялось соответствие результатов расчета магнитного поля методом конечных элементов и существующей аналитической зависимостью с эмпирическими поправочными коэффициентами. Для этого были определены значения распределения радиальной составляющей индукции магнитного поля по высоте над плоскостью среза магнитопровода методом конечных элементов,  при этом в качестве расчетных моделей были использованы различные магнитопроводы. Расчет произведен при различных диаметрах полюсов, отношениях длин внешних кромок к длинам внутренних и при различных значениях намагничивающей силы. По полученным результатам была оценена применимость аналитической зависимости, а также проанализировано отклонение значений радиальной составляющей индукции магнитного поля, полученных при разных методах определения распределения магнитного поля в пространстве над срезом магнитопровода.