Другие журналы

Бабурин Александр Сергеевич

Вакуумная малогабаритная технологическая лабораторная установка
Молодежный научно-технический вестник # 01, январь 2013
УДК: 00062
Целью проекта являлась разработка и создание актуальной и конкурентной технологической установки для проведения лабораторных и научно-исследовательских работ.В результате проекта были реализованы следующие ключевые параметры:1.      Максимальная наглядность всех осуществляемых технологических процессов;2.       Использование в едином вакуумном цикле методов электронно-лучевого испарения, ионно-лучевого осаждения и травления, ионно-плазменного и ионно-лучевого ассистирования и модификации, ВЧ магнетронного распыления;3.      Безмасляный вакуум с предельным давлением не хуже 10-3 Па;4.      Высокая точность задания и поддержания соотношения рабочих газов.5.      Максимальная автоматизация всех технологических источников для упрощения работы с установкой в условиях учебной лаборатории, и интеграции ее в учебно-научный комплекс с интерфейсом удаленного доступа.6.      Компактные габариты установки для удобного ее размещения в обычной учебной лаборатории.
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2019 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)