Другие журналы

Цивинская Татьяна Анатольевна

Термически изолированные ячейки в конструкциях преобразователей физических величин изготовленные электростатической анодной посадкой полупроводниковых и диэлектрических элементов
Инженерное образование # 12, декабрь 2012
DOI: 10.7463/0113.0517471
Рассматривается основной метод создания термически изолированных структур датчиков физических величин, изготавливаемых по МЭМС технологиям, электростатическая анодная посадка. Показано, что основной причиной малого процента выхода годных изготовления термически изолированных структур методом электростатической анодной посадки является неравномерность физико-химических свойств по всей поверхности полупроводниковых и соответствующих стеклянных пластин. Предложено усовершенствование метода анодной посадки, разработаны конструкции приспособлений для ее проведения. Изготовлены и опробованы предлагаемые способ и конструкции приспособлений. Получены результаты, подтверждающие возможность увеличения процента выхода годных при изготовлении термически изолированных структур датчиков физических величин методом электростатической анодной посадки.
Термокомпенсация измерительного канала датчика давления на основе полупроводниковых интегральных преобразователей
Инженерное образование # 11, ноябрь 2012
DOI: 10.7463/1112.0482504
Рассматриваются     подходы к проблеме температурной компенсации погрешностей измерительного канала датчика давления для космических аппаратов, работающего в жестких эксплуатационных условиях. Показано, что для коррекции, и соответственно, температурной компенсации выходного сигнала датчика давления характерны два способа: вспомогательных измерений температуры и образцовых сигналов. Разработаны и опробованы технические решения по созданию термически изолированных ячеек и электронной схемы компенсации температурной погрешности датчиков. Определены методы термокомпенсации дрейфа нуля и чувствительности тензорезистивных полупроводниковых датчиков давления. Получены значения температурных погрешностей, позволяющих отнести изготовленный измерительный канал согласно ГОСТ 22250-93 к классу точности 0,25.
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2019 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)