Каплин А. Ю.

Проведенный обзор наиболее перспективных методов измерения шероховатости нанометрового уровня показал, что наиболее перспективным методом для измерения среднеквадратического отклонения шероховатости оптической поверхности является метод динамической интерферометрии. Проведено экспериментальное исследование влияния диффузного рассеяния на интенсивность излучения, отраженного в зеркальном направлении, для поверхностей с параметром Rq, равным 5 нм, 10 нм и 50 нм. Установлено, что диффузное рассеяние приводит к флуктуациям интенсивности и вклад этого рассеяния в зеркально отраженное излучение составляет 0.25% для Rq = 10нм.