Рассмотрен метод Оже-электронной спектроскопии для исследования состава и структуры внешней поверхности твердых тел. Предложена процедура очистки электронного спектра от шума на основе вейвлет-преобразования. Проведен сравнительный анализ качества очистки спектра для трех типов вейвлетов.