Березин Сергей Валерьевич

Статья посвящена л азерному рефлектометрическому методу измерения толщины пленок металлов на диэлектрической подложке. Для нанопленок золота на кварцевой подложке определены оптимальные длины волн измерения и проведена оценка погрешности восстановления толщины пленки из данных лазерных рефлектометрических измерений. Математическое моделирование показывает, что для диапазона толщин 1 – 5 нм при измерениях на длине волны 1310 или 1550 нм толщина пленки золота может быть восстановлена со средней погрешностью ~ 0,15 %, а для диапазона толщин 5 – 50 нм при измерениях на длине волны 515 нм – со средней погрешностью ~ 0,25 % при среднеквадратическом значении шума 1 %.