Другие журналы
|
Сидорова Светлана Владимировна
77-30569/259672 Формирование островковых наноструктур в вакууме
Инженерное образование # 10, октябрь 2011 Приводятся модель и результаты исследования формирования островковых наноструктур в вакууме методом термического испарения. Представлены экспериментальный стенд и методика контроля роста островковых наноструктур в процессе нанесения. Показаны зависимости размеров островковых наноструктур от технологических параметров нанесения
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|