Другие журналы

Шупенев Александр Евгеньевич

Анализ влияния технологических параметров процесса импульсного лазерного осаждения на физико-морфологические свойства тонких пленок
Молодежный научно-технический вестник # 05, май 2015
УДК: 539.234
В данной статье рассматривается процесс импульсного лазерного осаждения на примере технологического оборудования НаноФАБ-100. Приведено описание устройства модуля PLD.Проведен анализ наиболее значимых параметров и исследовано их влияние на свойства пленок: выбор режима лазерного излучения для получения необходимых свойств, влияние температуры подложки на скорость роста и структуру пленок, необходимость задания движения сканатора, мишени и подложки для равномерного нанесения пленок по всей площади подложки и равномерного использования мишени, влияние расстояния подложка-мишень на производительность и чистоту поверхности, возможность  подачи газов для получения новых структур в процессе осаждения.
Создание металлизированной поверхности для изготовления тонкоплёночных термоэлектрических модулей методом импульсного лазерного осаждения
Молодежный научно-технический вестник # 06, июнь 2015
УДК: 539.23
В данной статье представлен химический способ получения технологического рисунка проводящего 35 мкм медного слоя на фольгированном 100 мкм полиимиде для последующего осаждения на него термоэлектрического материала на основе Bi2Te3. Рассматривается процесс подготовки подложки из полиимида для создания необходимой геометрии термоэлектрического модуля для 0,1-1,0 мм техпроцесса. Проведено исследование оптимальных режимов химической обработки, методом импульсного лазерного осаждения экспериментально получены макетные образцы гибких термоэлектрических модулей на подготовленных подложках.
Развитие тонкопленочных технологий: от мыльных пузырей к современным нанотехнологиям
Молодежный научно-технический вестник # 05, май 2013
УДК: 539.23
Развитие тонкопленочных технологий с середины 20 века сильно повлияло на современный уровень мирового прогресса. Одни из наиболее ярких идей практического применения тонких пленок: просветленная оптика, светодиодные матрицы, компьютерная электроника, компьютерные жесткие диски высокой емкости. В статье рассматривается эволюция идей практического применения тонких пленок, развитие методов их получения, а также современные направления исследований в данной области. В МГТУ им Н.Э. Баумана также проводятся исследования в области тонких пленок с целью получения высокоэффективных термоэлектрических модулей, миниатюрных локализованных термоэлектрических микромодулей, упрочняющих алмазоподобных пленок и др. на современном выскотехнологичном оборудовании методом импульсного лазерного осаждения.
77-30569/239713 Анализ поверхности тонких пленок Bi2Te3 осажденных методом импульсной лазерной абляции.
Инженерное образование # 10, октябрь 2011
Проведен анализ поверхности тонких пленок теллурида висмута, полученных с помощью метода импульсной лазерной абляции. Тонкие пленки осаждались в вакууме на монокристаллические  подогретые кремниевые подложки с помощью эксимерного Kr-F2лазера. Исследовалась морфология поверхности пленок, осажденных при различных температурах в камере, а также нанорельеф поверхности пленок, полученных при различных расстояниях между облучаемой мишенью и подложкой.
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2024 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)