Холевин Владимир Викторович

В результате износа элементов фиксации спутников увеличиваются зазоры в сопряжениях цилиндрического и ромбического фиксатора с базовыми втулками спутника. Величина износа прямо пропорциональна числу фиксаций спутников в рабочих позициях. Базовые поверхности втулок и фиксаторов приобретают коническую форму. При этом в равных условиях эксплуатации больший износ получают элементы сопряжения ромбического фиксатора – базовая втулка спутника. В работе предложена методика экспериментального определения коэффициентов увеличения зазоров в период интенсивного (приработки) и установившегося (эксплуатационного) износа. Предложенная методика позволяет, задаваясь допустимыми зазорами в узлах фиксации, рассчитать срок службы фиксирующих элементов, отвечающим требованиям точности.

Рассмотрено применение метода химико-механического полирования для планаризации поверхности подложек в нано- и микросистемной технике. Предложена методика расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности при химико-механическом полировании. Приведены результаты расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности для некоторых режимов обработки подложек. Результаты исследования могут быть использованы при проектировании операций химико-механического полирования поверхности подложек в нано- и микросистемной технике.

Проведено теоретическое исследование процессов абразивной доводки, полирования и химико-механического полирования. Разработана методика расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности. Приведены результаты расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности для некоторых режимов обработки подложек. Установлено влияние режимов и условий обработки на распределение величин износа. Результаты исследования могут быть использованы при проектировании операций химико-механического полирования деталей и узлов микросистемной техники