Данилов Игорь Иванович

С. 122-134

Дан анализ вариантов технологий производства подложек интегральных схем. Предложена методика расчета параметров процесса полирования подложек. Методика учитывает основные факторы технологии. Показано, что полирование может исправлять некоторые погрешности подложек. Определены связи между конструкцией технологического оборудования и параметрами точности изделий. Предложены математические модели процесса полирования подложек, которые учитывают свойства инструмента, полирующих суспензий, скорость движения инструмента, рабочее давление, точность заготовок и другие факторы.

Приводятся сведения о применении технологии интегральных микросхем (ИМС) при изготовлении МЭМС. Исследована возможность применения существующего для сварки ИМС оборудования в производстве МЭМС. Определены форма и материалы деталей МЭМС для исследования процесса их точечной контактной сварки, предполагая подобие конструкций МЭМС существующим приборам. Приводятся результаты анализа процесса сварки деталей МЭМС на оборудовании для сварки ИМС. Определены отдельные требования к оборудованию для сварки деталей МЭМС. Отдельные виды сварочных работ для МЭМС возможно выполнять на оборудовании, разработанном для ИМС.

Приводятся данные сравнения обработки прессованных из металлических порошков деталей с их аналогами из идентичных компактных материалов. Сравнение обрабатываемости одинаковых материалов в порошковом и компактном исполнении выполнено в идентичных условиях. Получены подобные зависимости износа различных инструментов, что позволяет использовать при проектировании технологий обработки пористых прессованных деталей обширные данные, известные для их компактных аналогов. Отмечено снижение точности обработки порошковых материалов по сравнению с их компактными аналогами. Данные износа инструментов получены по двум различным методикам.