Другие журналы
|
Калинин Владимир Николаевич
Исследование процесса нанесения нанокомпозитных тонкопленочных покрытий методом распыления прессованных мишеней
Молодежный научно-технический вестник # 01, январь 2015 УДК: 621.793.182, 621.893 Статья посвящена изучению особенностей нанесения твердосмазочных покрытий на основе дисульфида молибдена. Методом магнетронного распыления многокомпонентной прессованной мишени состава Ti+Al+MoS2 на стальных и ситалловых подложках получены нанокомпозитные покрытия. В статье представлены результаты исследований химического состава и микроструктурных особенностей мишени на разных стадиях распыления. По мере распыления мишени наблюдалось снижение доли MoS2 и увеличение количества Ti в составе покрытия. Следует отметить, что данная технология является альтернативой существующему методу реализации тонкопленочных покрытий. Перспективы ее применения связаны с увеличением однородности состава получаемых пленок, а также со снижением сложности используемого технологического оборудования.
77-30569/229269 Исследование трибологических свойств тонкопленочных покрытий, формируемых методом магнетронного распыления композитной мишени Ti+MoS2
Инженерное образование # 09, сентябрь 2011 Представлены: технология формирования тонкопленочных композитных покрытийTiN-MoS2 методом магнетронного распыления комбинированной мишени и результаты исследования трибологических свойств полученных покрытий.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|